반도체 제조에서 NO와 NO2의 적절한 관리는 반도체 제품의 품질에 영향을 미칠 수 있습니다. 이러한 가스의 농도가 공정 파라미터에 영향을 미치는 경우, 그 농도를 측정하여 생산품의 일관된 품질을 유지할 수 있습니다.고성능 소자를 제조하기 위해 정밀한 환경이 필요합니다. PPB 수준의 오염물질이나 불순물이 소자의 성능을 저하시킬 수 있으므로 정밀한 측정이 필요합니다
솔루션 :
고객사의 요구에 따라, PPB측정할 수 있는 설계를 제안하였습니다, PPB수준의 측정은 정밀도와 민감도를 갖춘 분석기술이 필요합니다. 이에따라 센서의 크기도 기본PPM의 모델보다 훨씬 큽니다. 우리는 SKY2000 에 PPB센서를 설계하는 방안을 제안 하였습니다. 1.SKY2000 NO PPB / 0-1000ppb 2.SKKY2000 NO2 PPB 0-1000ppb 현장에서 정상 측정을 완료 하였으며, 초정밀도 센서임을 입증 하였습니다.
적용 분야 : 반도체 생산 PPB NO,NO2 가스 측정
측정 가스 유형 : NO(일산화질소),NO2(이산화질소)
적용 제품 : SKY2000 (클릭시 상세 페이지로 이동)
고객 요구 사항 :
반도체 제조에서 NO와 NO2의 적절한 관리는 반도체 제품의 품질에 영향을 미칠 수 있습니다. 이러한 가스의 농도가 공정 파라미터에 영향을 미치는 경우, 그 농도를 측정하여 생산품의 일관된 품질을 유지할 수 있습니다.고성능 소자를 제조하기 위해 정밀한 환경이 필요합니다. PPB 수준의 오염물질이나 불순물이 소자의 성능을 저하시킬 수 있으므로 정밀한 측정이 필요합니다
솔루션 :
고객사의 요구에 따라, PPB측정할 수 있는 설계를 제안하였습니다, PPB수준의 측정은 정밀도와 민감도를 갖춘 분석기술이 필요합니다. 이에따라 센서의 크기도 기본PPM의 모델보다 훨씬 큽니다. 우리는 SKY2000 에 PPB센서를 설계하는 방안을 제안 하였습니다.
1.SKY2000 NO PPB / 0-1000ppb
2.SKKY2000 NO2 PPB 0-1000ppb
현장에서 정상 측정을 완료 하였으며, 초정밀도 센서임을 입증 하였습니다.